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低温冷却液循环泵使用噪音越来越大的原因
  • 发布日期:2016-12-30      浏览次数:1547
    •    低温冷却液循环泵可对半导体制造装置发热部的冷却:单晶片洗净转载、印刷机、自动夹座安装装置、喷涂装置、离子镀装置、蚀刻装置、单晶片处理装置、切片机、包装机、显影剂的温度管理、露光装置、生磁部分的加热装置等。
        低温冷却液循环泵的水循环使用都很正常,可发现噪音比以前大很多,这是什么原因?
        前面提到过水循环的日常维护工作,这个问题也与之有关。大家都知道,水里面有很少部分的杂质,就是蒸馏水在加到水箱后也不可能完全保证一点杂质都没有。对于水循环而言,一般温度都设置在20℃,特别适应微生物的生长和繁衍。时间长了以后这些微生物就会堵塞水路的过滤器造成回水不畅,水泵就会有较大的噪音。有时这些微生物附在了换热器的表面,造成换热器的传热效果变差,制冷量变小。所以一定要严格按照说明书中的要求做好日常维护工作,定时清洗内槽,长期停用,保持槽内干燥。水循环里面好像有漏水,有时地面一会儿就有几滴,是不是水路上有地方泄漏呢?
        一般来说低温冷却液循环泵在正常使用的过程中,水路是不会有泄漏的。在环境温度比较高空气中的相对湿度又太大时,在水循环的水路中的水泵、水管接头、外接水管处容易凝结露水,累积多了以后就滴到地面上了,不用担心是水路中有漏水的地方。如果您对这很介意的话,打开空调降低房间温度或是除湿都可以避免露水的产生。
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